光刻胶百级无尘烘箱 300度 SECSGEM烘箱

光刻胶百级无尘烘箱 300度 SECSGEM烘箱智能烘箱过程管理系统由上海旦顺实业有限公司自主研发,基于TCP/ip协议,与工厂系统对接,

  • 产品单价: 面议
  • 品牌:

    上海旦顺

  • 产地:

    上海

  • 产品类别:干燥设备
  • 有效期:

    长期有效

  • 发布时间:

    2021-03-19 16:10

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  • 产品详情

产品参数

品牌:

上海旦顺

所在地:

上海

起订:

≥1 台

供货总量:

300 台

有效期至:

长期有效

型号:

QMO

温度范围:

+20℃~300

均匀度:

±1.5%

详情介绍

光刻胶百级无尘烘箱 300度 SECSGEM烘箱

智能烘箱过程管理系统由上海旦顺实业有限公司自主研发,基于TCP/ip协议,与工厂系统对接,实现自动化烘烤,过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造,大大提高生产效力!

智能烘箱过程管理描述:

1.> 工厂系统,选择烘烤工艺,启动/停止烘箱;
2.> 工厂系统根据,过程判断待烤料件工位,记录反馈工位信息;
3.> 系统控制开/关门等动作;
4.>  系统记录并处理各种烘箱异常事件。如:超温,氮气不足,含氧量超标、门未关到位;

5.> 实施记录各种相关数据,如,温度,料件ID,工艺信息

智能烘箱主要参数介绍:

温度范围:室温+20℃~300/400/500/600

均匀度:±1.5%

洁净等级:Class10  Class100(洁净度要求可根据客户需求配置)

含氧量:<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM (含氧量要求可根据客户需求配置)

升温速度:常温~+600,升温速率:0~7/min,升温斜率程序可控

降温速度:降温斜率程序可控,500~300℃约3~5/min,300~120℃约1~3/min,120~65℃约0.5~1/min

控制系统优势介绍

控制系统

工控电脑+欧姆龙PLC

权限

给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码;

给每个操作者,自定义分配权限(如:启动,停止,调取工艺,调试,查看报表……)

记录当前操作者的所有操作记录;

控制方式切换

本地模式

由操作者,创建工艺、选择工艺、执行;

远程模式

客户系统发送运行工艺指令。支持:MES, SECS/GEM    (其他系统,可沟通开发)

数据信息(数据信息可以存10年以上!)

运行工艺信息记录

运行数据记录(如:温度、时间、含氧量、气体流量、压力……)

事件记录(开/关门事件、运行/停止事件、报警事件、故障事件)

通讯记录(与客户系统通讯记录)

操作记录(操作者操作记录,如:登录,注销,故障处理……)

故障信息显示

通讯故障

加热断线

循环风机故障

气体管路故障

异常处理

上偏差报警、下偏差报警、上偏差报警停机、上限报警、上限报警停机;(控制点和采样点)
独立设备温度超限断电;
异常断电

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