全新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统开发而来，采用了VMM 公司最先进的设计和技术。
, 新款Precis 包含了很多可配置选项，使设备更加通用，耐用以及可靠。

• 扩展了Z轴范围 – 2.5mm, 5mm or 100mm

• 透射照明

• 完整电子绘图 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准

• 符合人体工程学的操作员控制台 ，带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8 符合

• 全自动显微镜，所有设置计算机控制

• 最佳分辨率像素摄像头

• VIEW Metrology Software (VMS™) 可测组件很广泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差导入。

• MMWin – 晶圆片 和Mask计量软件 –晶圆片的重要尺寸和迭置重合测量, 滑块 ABS,光掩模和平板显示器.

• 标准                        可选

• X,Y,Z行程(mm):        200 x 200 x 5               200 x 200 x 100

• 最大载重:                 12 kg

• XY精度:                    E1=(0.25+2L/1000)um

• Z 精度:                     E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)

• 分辨率：                    0.01 微米

• 视场测量精度和重复性：0.01 μm (100x)

• 直流伺服马达驱动