一、技术参数

1.箱体

箱 体：1200mm（长）×1000mm（下宽）×900mm（高）、材质为3mm厚SUS304。

前 窗：倾斜设计的操作面，8mm厚可拆卸钢化玻璃视窗。

手 套 口：直径220mm硬铝合金实心棒材加工而成，经耐腐蚀阳极氧化处理。

手 套：美国诺斯丁基橡胶手套，手套口径8英寸，厚度0.4 mm。

压 力：使用压力区间为-12mbar—12mbar。

压力开关：德国哈斯瓦谢微压压力传感器。

照 明：使用LED灯带，节能环保。

置 物 架：箱体设置2层置物架。

支 架：高920mm，安装有万向脚轮及不锈钢水平支撑座。

接 口：箱体设置多个KF40接口，以便于接入液体、气体、信号等。

电 源：220V、50Hz多孔灌胶插线板。

过 滤 器：箱体进出口处采用复合HEPA标准的过滤精度0.3微米高效过滤器。

泄 漏 率：＜0.05vol%/h。

自动清洗：箱体带自动清洗功能，快速置换箱体气氛。

2.过渡舱

尺 寸：大过渡舱Φ390mm*600mm，材质为3mm厚SUS304，活塞门。

小过渡舱Φ150mm*300mm，材质为3mm厚SUS304。

位 置：箱体右侧有大小过渡舱各1个，箱体左侧有1个小过渡舱。

托 盘：大过渡舱内设可滑动300mm*450mm SUS304托盘。

小过渡舱内设半圆形SUS304托盘。

小过渡舱盖采用杠杆锁压紧式，开闭简单方便且密封性能优异。

操 作：大过渡舱手动开闭，具有自动抽气补气功能，通过触摸屏控制。

小过渡舱手动开闭，三通球阀手动操作抽气补气。

真空度：≤－0.1MPa，带显示，配置德国WIKA耐震真空压力表。

3.循环净化再生系统

3.1循环风机

3.1.1品  牌：台湾达纲，采用西门子变频器控制。

3.1.2流  量：90m³/h，安装在密闭的经压力测试的不锈钢容器内。

3.1.3降  噪：装有风机的不锈钢容器下部有减震装置，降低风机噪音。

3.1.4水  冷：装有水冷回路，可接水路降低风机运行时产生的热量。

3.2单净化柱

3.2.1净化材料：5KG美国UOP分子筛、5KG德国BASF铜触媒。

3.2.2净化能力：水：2KG、氧气：60升。

3.2.3净化效果：水氧含量＜1PPM。

3.2.4工作气体：纯度为99.999% 的N2（氮气）或Ar（氩气）。

3.2.5高真空角阀：采用新莱全不锈钢角阀，防腐耐用。

3.3再生系统

3.3.1再 生：净化材料吸附饱和后，用混合气再生，恢复净化材料净化能力。

3.3.1混合气：H2 5%、N2 95% ；H2 5%、Ar 95%。

3.4阀 组：德国Burkert电磁阀组，模块化设计。

4．控制显示系统

4.1控制方式：昆仑通泰7”触摸屏、循环再生控制、密码保护、动态界面。

4.2压力控制：触摸屏自动控制箱体、过渡舱的压力（±10mbar），工作压力0~5mbar。

4.3脚 踏 阀：微调箱体压力、方便操作。

4.4自动清洗：在触摸屏点击箱体自动清洗功能并设定时间，系统将开始清洗箱体。

4.5水氧报警：箱体内水氧含量超出设定值时声光报警。

5.真空泵

爱德华RV12真空泵，流量12m³/h、极限真空2*10^-3mbar，对大小过渡舱进行抽真空。

6.水分析仪

6.1 品 牌：原装进口英国Michell，采用先进陶瓷湿度变送器，有温度补偿、PLC显示。

6.2 范 围：0-500ppm

6.3 误 差：±1% ppm

6.4 环  境：－10℃—50℃

7.氧分析仪

7.1 品 牌：原装进口美国GE、带独立显示、PLC显示、电化学传感器、灵敏度高

7.2 范 围：0-20、50、100、500、1000ppm

7.3 误 差：±1% ppm

7.4 环 境：－10℃—50℃

8．有机溶剂吸附系统

吸附材料：水洗真空烘烤优质活性炭（宁夏产），10KG。

吸附效果：吸附粉尘及有机溶剂，饱和后更换新材料。

二、主要配置

三、随机配件