产品描述
X轴纳米定位线性位移台是基于压电控制的线性位移台，行程包括12/30/45/60μm及可定制其他行程版本，本系列产品包含X、XY可供用户选择。该压电纳米定位器是我们高速产品线的一部分（可提供大功率控制器，进行高速运动）。二维产品型号为PS2H45-xx。
PS1H45系列压电纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷作为驱动元件，利用有限元优化的固态挠性导向系统可确保完美的平移运动。平台采用了无摩擦柔性机构，压电位移台无需维护，无磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描等。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。
压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上，请使用转接板转接。在紧固过程中，应避免过大的弯矩载荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力，这些外力可能会损坏位移台。
产品特性
—高速运动、直接驱动
—设计小巧紧凑
—闭环控制
—可堆叠进行XY运动
选配功能
—可定制转接工装
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可组维、可定制其他行程
应用领域
—扫描显微镜、光纤端面检测
—干涉仪、测量技术、3D锡膏检测
—光子、光纤定位、干涉
—纳米光刻、纳米定位、电化学加工

结构原理                                              高速响应                                               典型应用

PS1H45系列技术参数