产品描述
PKVL80-200U/400U为定制型产品，位移行程设计为200~400μm，移动面为中空型设计，扫描台的中空尺寸为25x25mm是光及机械微操做微纳等领域应用的理想选择。
扫描台内部采用超柔性机械铰链设计，因为柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。扫描台采用（PZT）压电陶瓷作为驱动元件，压电陶瓷为树脂绝缘，这可以防潮，避免漏电流增大造成故障，它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
PKVL80-200U/400U压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率，线性误差低于0.02％的精度和重复性。
PKVL80-200U/400U压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料（钛、钢、铝）和真空制备版本。
产品特性
—Z位移：200μm/400μm（闭环）
—中孔尺寸：25x25mm
—最大承载能力：500g
—紧凑型设计
—高精度柔性铰链导向
选配功能
—可定制转接装置及中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择200/400μm位移行程版本
应用领域
—激光通信技术
—红外扫描技术
—晶圆定位
—干涉测量
—显微操纵

结构原理                                               堆叠形式                                                典型应用

PKVL80-200U/400U系列技术参数